標題：	一、依揮發性有機物空氣污染管制及排放標準第９條規定，石化製依光電材料及元件製造業空氣污染管制及排放標準第３條規定，該標準係適用於從事液晶面板製造及其相關材料、元件或產品製造者
發文機關：	行政院環境保護署
發文字號：	環署空字第0950034681號函
發文日期：	民國 95 年 05 月 11 日
單位業務分類：	大氣環境/固定源空污防制
內容：	全文內容：一、依揮發性有機物空氣污染管制及排放標準第 9  條規定，石化製依光               電材料及元件製造業空氣污染管制及排放標準第 3  條規定，該標準               係適用於從事液晶面板製造及其相關材料、元件或產品製造者。但僅               從事二極體元件製造者不在此限；另半導體製造業空氣污染管制及排               放標準之適用對象，則係指從事積體電路晶圓製造、晶圓封裝、磊晶               、光罩製造、導線架製造等作業者。其中積體電路晶圓製造作業為將               各種規格晶圓生產各種用途之晶圓之作業，包括經由物理氣相沈積、               化學氣相沈積、光阻、微影、蝕刻、擴散、離子植入、氧化與熱處理               等製程。           二、本案所詢某公司以矽晶原料，經蝕刻、離子植入、薄膜製作等程序，               從事太陽能電池（太陽能板）生產者，因其非屬液晶面板製造及其相               關材料、元件或產品製造者，故非為光電材料及元件製造業空氣污染               管制及排放標準之管制對象。但因其製程符合前揭半導體製造業之積               體電路晶圓製造程序，倘其揮發性有機物、三氯乙烯、硝酸、硫酸、               鹽酸、磷酸及氫氟酸等原物料用量符合半導體製造業空氣污染管制及               排放標準第 3  條規定之年用量者，則該項物質應符合該標準規定。           三、另本署 88 年 3  月 18 日環署空字第 15328  號函及 90 年 5  月               17  日環署空字第 30697  號函，自即日起停止適用。
相關法規：	光電材料及元件製造業空氣污染管制及排放標準第3條 空氣污染防制法第20條 揮發性有機物空氣污染管制及排放標準第9條