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行政函釋內容
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標題: |
一、依半導體製造業空氣污染管制及排放標準第2條第1項第1款規定,半導體製造業係指從事積體電路晶圓製造、晶圓封裝、磊晶、光罩製造、導線架製造等作業者
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發文機關: |
行政院環境保護署 |
發文字號: |
環署空字第0950030741號函 |
發文日期: |
民國 95 年 04 月 25 日 |
單位業務分類: |
大氣環境/固定源空污防制 |
內容: |
全文內容:一、依半導體製造業空氣污染管制及排放標準第 2 條第 1 項第 1 款 規定,半導體製造業係指從事積體電路晶圓製造、晶圓封裝、磊晶、 光罩製造、導線架製造等作業者。上開標準適用對象包含光罩製造程 序,法已明定。 二、依前揭規定,本案平面顯示器用之光罩製造程序,其排放之空氣污染 物,應符合半導體製造業空氣污染管制及排放標準規定。
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相關法規: |
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