標題：	一、「半導體製造業空氣污染管制及排放標準」第五條第一款規定，污染防制設備之廢氣導入處或排放口應設置流量計；另本署規定之「半導體製造業揮發性有機物及無機酸污染防制紀錄申報書」中，規定其各項污染防制設備均需記錄廢氣排放量
發文機關：	行政院環境保護署
發文字號：	環署空字第0004549號函
發文日期：	民國 90 年 01 月 17 日
單位業務分類：	大氣環境/固定源空污防制
內容：	全文內容：一、「半導體製造業空氣污染管制及排放標準」第五條第一款規定，污染               防制設備之廢氣導入處或排放口應設置流量計；另本署規定之「半導               體製造業揮發性有機物及無機酸污染防制紀錄申報書」中，規定其各               項污染防制設備均需記錄廢氣排放量。           二、倘污染源無法於各個洗滌塔廢氣導入處裝設流量計，而係於各防制設               備處理後之共同排放口處設置流量計者，於填報各防制設備之廢氣流               量時，得以該合併廢氣流量計所量測之流量推算各防制設備排氣量，               或以其他可計算相對廢氣流量之可監測數據，如電流紀錄、抽風馬達               之轉速、、、等換算出流量。
相關法規：	半導體製造業空氣污染管制及排放標準第5條 空氣污染防制法第20條