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行政函釋內容

_本系統行政函釋內容係函釋作成當時之公文原文,其內所引述法規之名稱及條次可能因法規嗣後異動而有所不同
題: 「半導體製造業空氣污染管制及排放標準」第二條及第三條規定該標準適用對象為:從事積體電路晶圓製造及封裝、磊晶、光罩製造及導線架製造等作業,且揮發性有機物、三氯乙烯、硝酸、硫酸、鹽酸、磷酸及氫氟酸等各項物質之原物料使用量,高於規定之數量者;其中導線架製造係指製造積體電路晶片對外連接之引腳架,作業程序含研磨、拋光、電鍍、蝕刻或貼膠等
發文機關: 行政院環境保護署
發文字號: 環署空字第0056028號函
發文日期: 民國 89 年 09 月 29 日
單位業務分類: 大氣環境/固定源空污防制
容: 全文內容:「半導體製造業空氣污染管制及排放標準」第二條及第三條規定該標準適
          用對象為:從事積體電路晶圓製造及封裝、磊晶、光罩製造及導線架製造
          等作業,且揮發性有機物、三氯乙烯、硝酸、硫酸、鹽酸、磷酸及氫氟酸
          等各項物質之原物料使用量,高於規定之數量者;其中導線架製造係指製
          造積體電路晶片對外連接之引腳架,作業程序含研磨、拋光、電鍍、蝕刻
          或貼膠等。倘其揮發性有機物、三氯乙烯、無機酸等物質使用量符合上述
          規定時,即適用該標準之規定。
相關法規: