標題：	關於半導體製造業產生之硝酸、磷酸等酸性氣體，目前因國內並無標準檢測方法，因此亦未有經本署認可之檢測公司，可進行檢測
發文機關：	行政院環境保護署
發文字號：	環署空字第0055193號函
發文日期：	民國 89 年 09 月 21 日
單位業務分類：	大氣環境/固定源空污防制
內容：	全文內容：關於半導體製造業產生之硝酸、磷酸等酸性氣體，目前因國內並無標準檢           測方法，因此亦未有經本署認可之檢測公司，可進行檢測。惟因半導體製           造業製程所可能排放之酸性氣體，確有管制之必要，本署乃於「半導體製           造業空氣污染管制及排放標準」第四條第二項規定，硝酸、鹽酸、磷酸、           氫氟酸及硫酸等廢氣，倘以濕式洗滌設備處理，而無法以檢測方式，證明           其符合同條第一項所定排放標準時，基於操作條件與污染物之排放，具有           正相關之因果關係，乃規定以實際操作狀況符合該項所定之控制條件，作           為符合標準之認定。
相關法規：	半導體製造業空氣污染管制及排放標準第4條 空氣污染防制法第49條