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行政函釋內容
_本系統行政函釋內容係函釋作成當時之公文原文,其內所引述法規之名稱及條次可能因法規嗣後異動而有所不同
標題: |
一、「半導體製造業空氣污染管制及排放標準」第二條及第三條規定該標準適用對象為:半導體製造業從事積體電路晶圓製造及封裝、磊晶、光罩製造及導線架製造等作業,且揮發性有機物、三氯乙烯、硝酸、硫酸、鹽酸、磷酸及氫氟酸等各項物質之原物料年使用量,高於規定之數量者
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發文機關: |
行政院環境保護署 |
發文字號: |
環署空字第0069921號函 |
發文日期: |
民國 88 年 11 月 01 日 |
單位業務分類: |
大氣環境/固定源空污防制 |
內容: |
全文內容:一、「半導體製造業空氣污染管制及排放標準」第二條及第三條規定該標 準適用對象為:半導體製造業從事積體電路晶圓製造及封裝、磊晶、 光罩製造及導線架製造等作業,且揮發性有機物、三氯乙烯、硝酸、 硫酸、鹽酸、磷酸及氫氟酸等各項物質之原物料年使用量,高於規定 之數量者。 二、污染源從事薄膜電晶體液晶顯示器生產作業,倘其使用之基材屬半導 體元件,且製程中之揮發性有機物、三氯乙烯、硝酸、硫酸、鹽酸、 磷酸及氫氟酸等原物料之年使用量符合前述規定者,屬「半導體製造 業空氣污染管制及排放標準」管制對象;惟使用基材屬非半導體元件 (如玻璃、塑膠等)者,則非屬該標準管制對象。
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相關法規: |
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