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行政函釋內容
_本系統行政函釋內容係函釋作成當時之公文原文,其內所引述法規之名稱及條次可能因法規嗣後異動而有所不同
標題: |
一、「半導體製造業空氣污染管制及排放標準」中所稱之半導體製造業,係指從事積體電路晶圓製造、晶圓封裝、磊晶、光罩製造、導線架製造等作業者,另晶圓封裝作業,係指將製造完成之各種用途之晶圓生產成為半導體產品之作業,包括經由切割成片狀的晶粒,再經焊接、電鍍、有機溶劑清洗和酸洗等製程
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發文機關: |
行政院環境保護署 |
發文字號: |
環署空字第0011742號函 |
發文日期: |
民國 88 年 02 月 25 日 |
單位業務分類: |
大氣環境/固定源空污防制 |
內容: |
全文內容:一、「半導體製造業空氣污染管制及排放標準」中所稱之半導體製造業, 係指從事積體電路晶圓製造、晶圓封裝、磊晶、光罩製造、導線架製 造等作業者,另晶圓封裝作業,係指將製造完成之各種用途之晶圓生 產成為半導體產品之作業,包括經由切割成片狀的晶粒,再經焊接、 電鍍、有機溶劑清洗和酸洗等製程。 二、電鍍業倘承攬積體電路封裝後之加工作業,其作業包括前述之導線架 焊接、電鍍作業、有機溶劑清洗和酸洗等,且其揮發性有機物、三氯 乙烯、硝酸、硫酸、鹽酸、磷酸及氫氟酸等原料每年使用量高於「半 導體製造業空氣污染管制及排放標準」第三條所規定之數量者,則為 該標準適用之對象。
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相關法規: |
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