標題：	有關貴公會函詢「半導體製造業空氣污染管制及排放標準」法規內容疑義案
發文機關：	行政院環境保護署
發文字號：	環署空字第0990069541號函
發文日期：	民國 99 年 08 月 27 日
單位業務分類：	大氣環境/固定源空污防制
內容：	主    旨：有關貴公會函詢「半導體製造業空氣污染管制及排放標準」法規內容疑義           案，復請查照。 說    明：一、依半導體製造業空氣污染管制及排放標準第 5  條第 1  項第 4  款               規定，流量計及濃度監測器之有效每季監測率應大於 80%，每年至少               以標準檢測方法比測 1  次，比測時間每次至少 2  小時，所設置之               流量計及濃度監測器所得之結果應以上次比測結果修正之。管制重點               主要在規範半導體製造業進行規定之流量計或濃度監測計比測工作，               應依標準檢測方法取得至少連續 2  小時之流速測定或揮發性有機物               濃度檢測數據，作為修正依據。           二、有關流量計比測，應依本署環境檢驗所 NIEAA101.73C 排放管道中粒               狀污染物採樣及其濃度之測定方法規定排氣流速及流量之測定步驟，               先測定排氣壓力、排氣中水蒸氣之體積百分率及排氣組成計算出排氣               流速，完成一次完整氣體組成（ORSAT ）比測作業後，再重複相同步               驟進行，直至符合前項說明所提至少連續 2  小時之測定時間，比測               時包含水分及氣體成分分析。一般而言，排氣組成之檢測時間為排氣               流量測定之關鍵時間，2 個小時內約可完成 4  次排氣流量測定步驟               。再以比測期間所得排氣流速平均值及排放管道截面積求出排氣流量               ，與比測期間現場裝設之流量計量測數值平均值比對。           三、檢測執行單位應依說明二執行相關流量計比測作業，惟目前檢測計畫               書已送至各縣市主管機關審核通過者，應依其審核通過之檢測計畫書               內容執行後續相關審查及作業事項。
相關法規：	半導體製造業空氣污染管制及排放標準第5條 空氣污染防制法第20條