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行政函釋內容
_本系統行政函釋內容係函釋作成當時之公文原文，其內所引述法規之名稱及條次可能因法規嗣後異動而有所不同
| 標題： |
有關半導體製程研磨機台使用後之研磨液再生使用過程，是否屬於廢棄物管理範疇乙案
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| 發文機關： |
行政院環境保護署 |
| 發文字號： |
環署廢字第1000033078號函 |
| 發文日期： |
民國 100 年 04 月 25 日 |
| 單位業務分類： |
資源循環/再利用推動 |
| 內容： |
主 旨：有關半導體製程研磨機台使用後之研磨液再生使用過程，是否屬於廢棄物
管理範疇乙案，請查照。
說 明：一、本署 100 年 2 月 25 日環署廢字第 1000012048 號函（如附）略
以：半導體廠於製程使用後之研磨液，如送回原供應商調整成分與濃
度後，再返回循環使用，則非屬廢棄物範疇。特再補充說明：半導體
廠將製程使用後之研磨液，送回原供應商再製後，再返回該半導體廠
循環使用，則非屬廢棄物；若該研磨液非交由原供應商或再製後非返
回原事業使用，則該研磨液之再生使用過程應依廢棄物清理法第 28
條及第 39 條規定辦理。
二、使用後之研磨液若符合前述循環使用用途，則非屬廢棄物範疇，相關
業者應檢視廢棄物清理計畫書內容（如廢棄物清理方式、質量平衡等
）必要時應辦理變更。
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| 相關法規： |
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