行政函釋內容
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| 標題： |
一、半導體製造業空氣污染管制及排放標準之適用對象，係指從事積體電路晶圓製造、晶圓封裝、磊晶、光罩製造、導線架製造等作業者
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| 發文機關： |
行政院環境保護署 |
| 發文字號： |
環署空字第0950057503號函 |
| 發文日期： |
民國 95 年 07 月 28 日 |
| 單位業務分類： |
大氣環境/固定源空污防制 |
| 內容： |
全文內容：一、半導體製造業空氣污染管制及排放標準之適用對象，係指從事積體電
路晶圓製造、晶圓封裝、磊晶、光罩製造、導線架製造等作業者。其
中積體電路晶圓製造作業係以不同規格之晶圓生產各種用途晶圓之作
業，包括經由物理氣相沈積、化學氣相沈積、光阻、微影、蝕刻、擴
散、離子植入、氧化與熱處理等製程；另依光電材料及元件製造業空
氣污染管制及排放標準第 3 條規定，該標準係適用於從事液晶面板
製造及其相關材料、元件或產品製造者。但僅從事二極體元件製造者
不在此限。本兩項法規條文業將該兩項標準適用之對象予以敘明。
二、本案所詢某公司以晶圓為材料，經濺鍍、塗佈、曝光、顯影、蝕刻及
烘乾等程序，從事驅動 IC 相關晶圓生產製造者，雖其後續產品－驅
動 IC 主要係供液晶顯示面板之用，但因其製程符合前揭半導體製造
業之積體電路晶圓製造程序，倘其揮發性有機物、三氯乙烯、硝酸、
硫酸、鹽酸、磷酸及氫氟酸等原物料用量符合半導體製造業空氣污染
管制及排放標準第 3 條規定之年用量者，則公私場所排放該項物質
應符合半導體製造業空氣污染管制及排放標準規定。
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| 相關法規： |
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