行政函釋內容
_本系統行政函釋內容係函釋作成當時之公文原文，其內所引述法規之名稱及條次可能因法規嗣後異動而有所不同
| 標題： |
一、依揮發性有機物空氣污染管制及排放標準第９條規定，石化製依光電材料及元件製造業空氣污染管制及排放標準第３條規定，該標準係適用於從事液晶面板製造及其相關材料、元件或產品製造者
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| 發文機關： |
行政院環境保護署 |
| 發文字號： |
環署空字第0950034681號函 |
| 發文日期： |
民國 95 年 05 月 11 日 |
| 單位業務分類： |
大氣環境/固定源空污防制 |
| 內容： |
全文內容：一、依揮發性有機物空氣污染管制及排放標準第 9 條規定，石化製依光
電材料及元件製造業空氣污染管制及排放標準第 3 條規定，該標準
係適用於從事液晶面板製造及其相關材料、元件或產品製造者。但僅
從事二極體元件製造者不在此限；另半導體製造業空氣污染管制及排
放標準之適用對象，則係指從事積體電路晶圓製造、晶圓封裝、磊晶
、光罩製造、導線架製造等作業者。其中積體電路晶圓製造作業為將
各種規格晶圓生產各種用途之晶圓之作業，包括經由物理氣相沈積、
化學氣相沈積、光阻、微影、蝕刻、擴散、離子植入、氧化與熱處理
等製程。
二、本案所詢某公司以矽晶原料，經蝕刻、離子植入、薄膜製作等程序，
從事太陽能電池（太陽能板）生產者，因其非屬液晶面板製造及其相
關材料、元件或產品製造者，故非為光電材料及元件製造業空氣污染
管制及排放標準之管制對象。但因其製程符合前揭半導體製造業之積
體電路晶圓製造程序，倘其揮發性有機物、三氯乙烯、硝酸、硫酸、
鹽酸、磷酸及氫氟酸等原物料用量符合半導體製造業空氣污染管制及
排放標準第 3 條規定之年用量者，則該項物質應符合該標準規定。
三、另本署 88 年 3 月 18 日環署空字第 15328 號函及 90 年 5 月
17 日環署空字第 30697 號函，自即日起停止適用。
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| 相關法規： |
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