行政函釋內容
_本系統行政函釋內容係函釋作成當時之公文原文，其內所引述法規之名稱及條次可能因法規嗣後異動而有所不同
| 標題： |
一、「半導體製造業空氣污染管制及排放標準」第五條第一款規定，污染防制設備之廢氣導入處或排放口應設置流量計；另本署規定之「半導體製造業揮發性有機物及無機酸污染防制紀錄申報書」中，規定其各項污染防制設備均需記錄廢氣排放量
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| 發文機關： |
行政院環境保護署 |
| 發文字號： |
環署空字第0004549號函 |
| 發文日期： |
民國 90 年 01 月 17 日 |
| 單位業務分類： |
大氣環境/固定源空污防制 |
| 內容： |
全文內容：一、「半導體製造業空氣污染管制及排放標準」第五條第一款規定，污染
防制設備之廢氣導入處或排放口應設置流量計；另本署規定之「半導
體製造業揮發性有機物及無機酸污染防制紀錄申報書」中，規定其各
項污染防制設備均需記錄廢氣排放量。
二、倘污染源無法於各個洗滌塔廢氣導入處裝設流量計，而係於各防制設
備處理後之共同排放口處設置流量計者，於填報各防制設備之廢氣流
量時，得以該合併廢氣流量計所量測之流量推算各防制設備排氣量，
或以其他可計算相對廢氣流量之可監測數據，如電流紀錄、抽風馬達
之轉速、、、等換算出流量。
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| 相關法規： |
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