行政函釋內容
_本系統行政函釋內容係函釋作成當時之公文原文，其內所引述法規之名稱及條次可能因法規嗣後異動而有所不同
| 標題： |
「半導體製造業空氣污染管制及排放標準」第二條及第三條規定該標準適用對象為：從事積體電路晶圓製造及封裝、磊晶、光罩製造及導線架製造等作業，且揮發性有機物、三氯乙烯、硝酸、硫酸、鹽酸、磷酸及氫氟酸等各項物質之原物料使用量，高於規定之數量者；其中導線架製造係指製造積體電路晶片對外連接之引腳架，作業程序含研磨、拋光、電鍍、蝕刻或貼膠等
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| 發文機關： |
行政院環境保護署 |
| 發文字號： |
環署空字第0056028號函 |
| 發文日期： |
民國 89 年 09 月 29 日 |
| 單位業務分類： |
大氣環境/固定源空污防制 |
| 內容： |
全文內容：「半導體製造業空氣污染管制及排放標準」第二條及第三條規定該標準適
用對象為：從事積體電路晶圓製造及封裝、磊晶、光罩製造及導線架製造
等作業，且揮發性有機物、三氯乙烯、硝酸、硫酸、鹽酸、磷酸及氫氟酸
等各項物質之原物料使用量，高於規定之數量者；其中導線架製造係指製
造積體電路晶片對外連接之引腳架，作業程序含研磨、拋光、電鍍、蝕刻
或貼膠等。倘其揮發性有機物、三氯乙烯、無機酸等物質使用量符合上述
規定時，即適用該標準之規定。
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| 相關法規： |
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