行政函釋內容
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標題: |
一、「半導體製造業空氣污染管制及排放標準」所適用對象為從事積體電路晶圓製造、晶圓封裝、磊晶、光罩製造、導線架製造之半導體製造業,且其揮發性有機物、三氯乙烯、硝酸、鹽酸、硫酸、磷酸、氫氟酸等超過標準第三條所規定之/使用量者
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發文機關: |
行政院環境保護署 |
發文字號: |
環署空字第0017852號函 |
發文日期: |
民國 88 年 03 月 24 日 |
單位業務分類: |
大氣環境/固定源空污防制 |
內容: |
全文內容:一、「半導體製造業空氣污染管制及排放標準」所適用對象為從事積體電 路晶圓製造、晶圓封裝、磊晶、光罩製造、導線架製造之半導體製造 業,且其揮發性有機物、三氯乙烯、硝酸、鹽酸、硫酸、磷酸、氫氟 酸等超過標準第三條所規定之/使用量者。其中導線架製造作業係指 製造積體電路晶片對外連接之引腳架,包含研磨拋光、電鍍、蝕刻或 貼膠等作業程序。 二、本案○○科技股份有限公司以電子線路、銅箔基板等為基材,從事壓 合、鑽孔、電鍍、棕黑化處理、蝕刻、防焊及成型加工包裝處理等作 業,並非屬前述製造程序,不適用「半導體製造業空氣污染防制及排 放標準」。
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相關法規: |
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