行政函釋內容
_本系統行政函釋內容係函釋作成當時之公文原文,其內所引述法規之名稱及條次可能因法規嗣後異動而有所不同
標題: |
一、電子管、半導體製造業及具從事晶片、晶圓製造、晶圓包裝、二極體、電晶體、液晶顯示器、積體電路或其他電子半導體之生產,係屬本署公告應申請設置變更及操作許可之固定污染源,其為新設或變更者屬第二批公告範圍,其為已設立者則屬第三批公告範圍
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發文機關: |
行政院環境保護署 |
發文字號: |
環署空字第62189號函 |
發文日期: |
民國 86 年 10 月 14 日 |
單位業務分類: |
大氣環境/固定源空污防制 |
內容: |
全文內容:一、電子管、半導體製造業及具從事晶片、晶圓製造、晶圓包裝、二極體 、電晶體、液晶顯示器、積體電路或其他電子半導體之生產,係屬本 署公告應申請設置變更及操作許可之固定污染源,其為新設或變更者 屬第二批公告範圍,其為已設立者則屬第三批公告範圍。 二、本案之二極體製造流程,其晶片依序經清洗、成長氧化層、第一道微 影成像、溝槽蝕刻、上玻璃膠、第二道微影成像、玻璃燒結、低溫氧 化、第三道微影成像、無電鍍鎳及測試後,再經包裝即為產品。其中 溝槽蝕刻及無電鍍鎳雖委託其他廠商處理,但其他作業程序仍排放空 氣污染物且符合公告應申請設置變更及操作許可之條件。
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相關法規: |
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