行政函釋內容
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標題: |
函詢貴轄○○股份有限公司屬電子及半導體生產設備修配業,實機測試時排放氫氟酸等空氣污染物,是否屬公告第二批應申請設置、變更及操作許可之固定污染源疑義案
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發文機關: |
行政院環境保護署 |
發文字號: |
環署空字第0980088972號函 |
發文日期: |
民國 98 年 10 月 01 日 |
單位業務分類: |
大氣環境/固定源空污防制 |
內容: |
主 旨:函詢貴轄○○股份有限公司屬電子及半導體生產設備修配業,實機測試時
排放氫氟酸等空氣污染物,是否屬公告第二批應申請設置、變更及操作許
可之固定污染源疑義案,復請查照。
說 明:一、依本署公告應申請設置變更及操作許可之半導體製造程序,係指從事
晶片製造、晶圓製造、晶圓封(包)裝、積體電路或其他半導體之生
產者。上述積體電路晶片封(包)裝作業中若未涉及導線電鍍、浸錫
、有機溶劑清洗或酸洗等步驟者,不在此限。管制重點不論實機測試
,主要在規範公私場所從事上述半導體生產程序,排放揮發性有機物
及無機酸等空氣污染物,應妥善做好空氣污染防制措施,以維護環境
品質。
二、貴轄○○股份有限公司使用氫氟酸、鹽酸、硫酸、揮發性有機物,進
行積體電路製造相關機台測試分析,修改製程條件修改作業,倘包括
晶片製造、晶圓製造、晶圓封(包)裝、積體電路或其他半導體之生
產程序,則屬本署公告應申請設置、變更及操作許可之固定污染源,
其設置、變更及操作,應向所在縣市政府申請取得設置、變更及操作
許可證,始得設置、變更及操作。
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相關法規: |
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