行政函釋內容
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| 標題： |
貴轄○○股份有限公司○○分公司函詢其製程應非屬「半導體製造 業空氣污染管制及排放標準」管制對象一案
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| 發文機關： |
行政院環境保護署 |
| 發文字號： |
環署空字第1040011195號函 |
| 發文日期： |
民國 104 年 02 月 17 日 |
| 單位業務分類： |
大氣環境/固定源空污防制 |
| 內容： |
主 旨：貴轄○○股份有限公司○○分公司函詢其製程應非屬「半導體製造業空氣
污染管制及排放標準」管制對象一案，請查照。
說 明：一、依據○○股份有限公司中港分公司 104 年 2 月 2 日○○字第 1
040007 號函（影本如附）辦理。
二、查半導體製造業空氣污染管制及排放標準（以下簡稱本排放標準）之
適用對象，係指從事積體電路晶圓製造、晶圓封裝、磊晶、光罩製造
、導線架製造等作業，且其揮發性有機物、三氯乙烯、硝酸、硫酸、
鹽酸、磷酸、氫氟酸等原物料年用量高於本排放標準第 3 條規定之
年用量者。其中積體電路晶圓製造作業，係指將各種規格晶圓生產各
種用途之晶圓之影、蝕刻、擴散、離子植入、氧化與熱處理等製程。
前揭排放標準主要針對製程中可能產生之揮發性有機物、酸性氣體等
空氣污染物加以管制，應妥善做好空氣污染防制工作，以維護及改善
空氣品質。
三、本案貴轄○○股份有限公司○○分公司之製程，倘僅以清洗、鑄錠、
開方、研磨及噴砂等作業生產矽錠，未包含有本排放標準中積體電路
晶圓製造之各項程序，則非屬本排放標準適用之對象。惟本案適用排
放標準之認定，仍請貴局依個案實際情形，本權責查明後逕復該公司
。
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| 相關法規： |
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