行政函釋內容
_本系統行政函釋內容係函釋作成當時之公文原文，其內所引述法規之名稱及條次可能因法規嗣後異動而有所不同
| 標題： |
貴轄○○○○科技股份有限公司函詢該公司之其他電子零組件製造 程序是否適用半導體製造業空氣污染管制及排放標準疑義案
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| 發文機關： |
行政院環境保護署 |
| 發文字號： |
環署空字第1040018178號函 |
| 發文日期： |
民國 104 年 03 月 26 日 |
| 單位業務分類： |
大氣環境/固定源空污防制 |
| 內容： |
主 旨：貴轄○○○○科技股份有限公司函詢該公司之其他電子零組件製造程序是
否適用半導體製造業空氣污染管制及排放標準疑義案，請查照。
說 明：一、依據○○○○科技股份有限公司 104 年 3 月 5 日○○字第 104
007 號函辦理（影本如附）。
二、依半導體製造業空氣污染管制及排放標準第 2 條第 1 款規定，半
導體製造業係指從事積體電路晶圓製造、晶圓封裝、磊晶、光罩製造
、導線架製造等作業者。同條第 2 款規定，積體電路晶圓製造作業
係指將各種規格晶圓生產各種用途晶圓之作業，包括經由物理氣相沈
積、化學氣相沈積、光阻、微影、蝕刻、擴散、離子植入、氧化與熱
處理等製程。前揭排放標準主要針對製程中可能產生之揮發性有機物
及酸性氣體等空氣污染物加以管制。
三、本案貴轄○○○○科技股份有限公司倘係以藍寶石基板為基材，經顯
影塗佈、曝光、乾蝕刻及化學清洗等程序，製成蝕刻後之藍寶石基板
，其與前述半導體製造程序不同，非屬前揭排放標準之適用對象，惟
該公司排放之空氣污染物仍應符合固定污染源空氣污染物排放標準規
定。本案請貴局依個案實際情形，本權責查明後逕復該公司。
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| 相關法規： |
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